Home Innovation TU Eindhoven und SALD BV kooperieren bei Spatial ALD

TU Eindhoven und SALD BV kooperieren bei Spatial ALD

von Sebastian Zerlach
SALD BV, TU Eindhoven

Ein neues Forschungsgebiet am Institut für Angewandte Physik an der Technischen Universität Eindhoven ist der „Spatial Atomic Layer Deposition“ (SALD) gewidmet. Im Rahmen eines Kooperationsprojekt mit privater Beteiligung wurde dort eine neue Maschine in Betrieb genommen, die es erlaubt, sehr schnell neue Prozesse und Materialien zu testen. Geliefert wurde der Prototyp vom niederländischen Start-up SALD BV, das sich wie schon der Name offenbart, dieser Technologie voll und ganz verschrieben hat.

Bei „Spatial Atomic Layer Deposition“ handelt es sich um ein Verfahren zum schnellen Auftragen von atomaren Beschichtungen in mehreren Lagen auf ein Substrat. Dadurch sollen neue Materialeigenschaften erreicht werden. Diese Atombeschichtungen sollen laut Frank Verhage, CEO von SALD BV das Potenzial haben, ganze Industrien zu revolutionieren, darunter die Herstellung von Batteriezellen für Autos und Smart Devices, die Textilwirtschaft und die Solarenergiebranche. An der Universität kann die SALD-Technologie in unterschiedlichen Umgebungen erprobt werden. „Mein Ziel sind Fortschritte bei der Atomic-Scale-Verarbeitung für Energie- und Informationstechnologien wie Photovoltaik und Nanoelektronik“, erklärt Prof. Erwin Kessels, Lehrstuhlinhaber für Angewandte Physik an der TU Eindhoven mit dem Fokus auf Plasma- und Materialverarbeitung.

Die Auslieferung der neuen Maschine erfolgt im Rahmen einer umfassenden Kooperation zwischen der Universität und dem Technologie-Start-up. Projektmanager Dr. Bart Macco (Mitarbeiter im Labor von Prof. Kessels) erhofft sich viel von dieser Maschine: „Der Zugang zu diesem Labortool wird für den Erfolg des Projekts von unschätzbarem Wert sein. Wir können damit sehr schnell neue Prozesse, neue Materialien und neue Substrate testen.“ Bei der SALD-Maschine handelt es sich um ein für Forschung und Entwicklung optimiertes System, das leicht angepasst werden kann, um den Einfluss unterschiedlicher Faktoren auf den Prozess der „Spatial Atomic Layer Deposition“ zu untersuchen.

Im Rahmen der Zusammenarbeit werden sowohl SALD BV als auch die Universität profitieren. Einerseits sorgt der fortlaufende Austausch für einen nahtlosen Know-how-Transfer, andererseits erhalten die Studierenden Einblick in die betriebliche Praxis einer Technologie-Schmiede. Mit diesem Projekt sollen neue Anwendungsgebiete für SALD etwa in der Batterieforschung erschlossen werden.


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